Ämnesrör i PPS CMP

Ett ämnesrör i PPS CMP är polyfenylensulfid i en renhetsklass som riktar in sig mot halvledarindustrin. CMP står för chemical mechanical planarization, det vill säga den planpolering som används mellan processteg på en wafer. Materialgraden är vald för att hålla mycket låga halter av joniska föroreningar och extraherbara ämnen, så att den inte kontaminerar den vätska eller den wafer som passerar.

Basmaterialet PPS har en uppsättning egenskaper som är svår att slå för aggressiva processmiljöer. Kontinuerlig arbetstemperatur ligger på 220 °C och kortvariga toppar tål materialet betydligt högre. Brandklassningen är V0 enligt UL 94 även utan halogenerade flamskyddsmedel, och vattenabsorptionen är så låg att den i praktiken inte påverkar dimensionerna. Materialet tål starka syror, alkalier och de flesta organiska lösningsmedel, vilket är centralt i etsnings- och rengöringsbad.

Ämnesrör är en halvfabrikatsform som är gjuten med ytter- och innerdiameter färdig, men avsedd att bearbetas till färdiga komponenter. Det betyder att du slipper borra eller djuphålsfräsa en lång rundstång, och att materialet är extruderat eller pressat med en jämnare struktur som ger lägre spänningar. För svarvade detaljer som ringar, hylsor och rörformade fixturer minskar bearbetningstiden kraftigt jämfört med att utgå från en hel stång.

Konkreta användningsområden i halvledarindustrin är hylsor och fixturer kring wafer-hanteringen, ringar i kemiska bad där metalljoner inte får förekomma, samt komponenter i CMP-utrustning där både slamparna och rengöringsvätskorna är kemiskt aggressiva. Utanför halvledarvärlden används CMP-grad PPS i analysinstrument, läkemedelsprocesser och andra applikationer där renheten är minst lika viktig som temperatur- och kemikalietåligheten.

Vid bearbetning beter sig oförstärkt PPS som en styv och relativt spröd termoplast. Skarpa hårdmetallverktyg, måttliga skärdjup och en jämn matning ger bäst resultat. Materialet är inte abrasivt på samma sätt som fyllda PPS-grader, så verktygsliven är längre. Borrning bör ske med peckning för att hålla spånutrymmet öppet, och svarvning med kort verktygsutskjut för att undvika vibrationer. För särskilt måttkritiska detaljer kan en mild spänningsavspänning runt 180 °C användas innan slutbearbetning.

Tänk på att CMP-grad är dyrare än standard-PPS och bör reserveras för applikationer där renheten faktiskt utnyttjas. Om processen tål en vanlig industri-grad räcker den långt och blir betydligt billigare.

Vill du diskutera om CMP-graden krävs eller om en oförstärkt standard-PPS räcker? Vi tar gärna en koll på processen och dimensionerna innan du beställer.